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기반기술

동압 공기동역학(aerodynamic) 베어링, 포일베어링 외부 압축공기 공급원 불필요 Turbo Blower, Air charger (compressor, 수소차) 정압 공기정역학(aerodynamic) 베어링 공기압력이 정밀한 홈, 단차 다공질 기술로 공급, 대부분의 에어베어링을 지칭 제작기술 오리피스 기술 - 가공된 구멍을 통해 air공급 다공질기술-베어링전체 표면으로 air 공급 반도체 검사장치, 대면적 유리기판, 인공위성 외 유효성 증가

평면 에어 베어링

원형 or 사각형
진공반복처리에 적함

레이디얼 베어링

매우 큰 회전 베어링 응용분야

Linear Slide

평면패드 베어링 응용
검사장비에서 이송시스템까지

스핀들

국내 기술개발
스마트폰 표면 연삭용 조각기
웨이퍼 다이싱, 사이드컷팅

에어부싱

기술난이도, 가격 가장 높음
인공위성, 우주선 분야